国内首套传感器自动标定系统研制成功

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因此为了优化氮化铌薄膜在特定应用方面的性能，首套研究其生长-结构-性质之间的关系至关重要。传感图文导读图1 不同厚度氮化铌薄膜的X光衍射谱。

对于某些特定应用，器自比如超导量子干涉仪和快速单通量量子逻辑电路等，不仅对氮化铌薄膜的厚度有很高要求（3-5纳米），还需要外延生长技术。文献链接UltrathinepitaxialNbNsuperconductingfilms withhighuppercriticalfieldgrownatlow temperature.MaterialsResearchLetters,9:8,336-342.(https://doi.org/10.1080/21663831.2021.1919934)背景信息氮化铌（NbN）超导薄膜因其相对较高的超导转变温度（Tc），动标定系以及优异的临界电流密度-磁场（Jc-H）特性被广泛应用于多种电子设备中，动标定系比如超导纳米线单光子探测器（SNSPD）及超导Josephson结。结果介绍在本文中，统研美国应用材料公司MingweiZhu团队和布法罗大学QuanxiJia教授团队展开合作，统研利用磁控反应溅射技术，成功在较低的温度下（400摄氏度）制备出了高质量超薄（5-50纳米）外延生长的氮化铌超导薄膜。

总结该工作实现了比较低温条件下晶片规模尺寸的氮化铌薄膜的外延生长，制成并深入探讨了氮化铌超导薄膜的超导特性与薄膜厚度的密切关系。国内功（b）不同磁场强度下（0-7T）厚度为5纳米的氮化铌薄膜的电阻率-温度特性曲线。

首套图2 厚度为5纳米的氮化铌薄膜的STEM分析以及EDS图谱。

传感图3  超导转变温度以及转变宽度与薄膜厚度的关系。鹰皇灯饰荣获中国十大照明品牌、器自中国十大工程照明品牌，器自乃是实至名归!经历了三年的疫情，2023年全球市场呈现向好趋势，鹰皇灯饰全新启航，凭借客户高度认可的东风，竭尽全力朝着全球灯饰照明十大企业之目标全速前进!。

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